ISO 14644-3《测试方法》解读:2019版与2005版差异及11项配套测试方法
ISO 14644-3《测试方法》现行第二版于2019年发布,代替2005版,为洁净室和洁净区运行提供支持性测试方法,不负责按粒子浓度分级(该职责属ISO 14644-1)。
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ISO 14644-3《测试方法》现行第二版于2019年发布,代替2005版,为洁净室和洁净区运行提供支持性测试方法,不负责按粒子浓度分级(该职责属ISO 14644-1)。
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ISO 14644-5:2025 修订要求洁净室建立正式、文件化的运行控制计划(OCP),纳入风险评估、清洁规程、人员培训与物料流向控制,被称为二十多年来最重大的洁净室标准更新。
涉及版本 · ISO 14644-5:2025
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