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拓生科技分享新建半导体无尘室空态验收五大环境关键案例

原文摘要

拓生科技为被动元件半导体客户的新建无尘室(一个 ISO 6 区与一个 ISO 7 区,面积约 35 m²)执行空态验收检测,涵盖洁净度、风速风量与换气数、HEPA 泄漏、房间压差及温湿度均匀性五大项目。

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