浙江创芯洁净室酸碱污染结构识别数据完成浙江省数据知识产权登记

2026年10月15日，浙江创芯集成电路有限公司旗下洁净室酸碱污染结构识别数据在浙江省数据知识产权登记平台完成知识产权登记。该数据基于产线长期连续监测数据形成，将洁净室气态分子污染状态划分为酸性异动、结构平稳和碱性异动三类，可用于半导体洁净室污染溯源与气态分子污染异常识别等场景，支持同业厂务团队、过滤器厂商及治理服务商复用。