洁净室H14/U15高效过滤器更换判据与ISO 14644-3 PAO检漏操作要点

文章依据GB 50073-2013附录C.0.2归纳高效过滤器立即更换的四条触发指标，包括风速低于设计限值、运行阻力达额定初阻力1.5～2.0倍、不可修补漏点及验证文件规定的强制服役上限。文中还列出G4至U15各级过滤器的初阻力与更换终阻力红线，并按ISO 14644-3:2019第B.6节给出PAO气溶胶光度计原位扫描检漏六步参数，合格判据为下游局部透过率不超过上游浓度的0.01%。