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全国标准信息公共服务平台·国标检索「洁净」·原文发布精选

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国家标准《洁净室及相关受控环境 第17部分:粒子沉积速率应用》现行

原文摘要

国家标准《洁净室及相关受控环境 第17部分:粒子沉积速率应用》为推荐性现行标准,对应英文名 Cleanrooms and associated controlled environments—Part 17: Particle deposition rate applications。

为何关注

该国家标准为现行推荐性标准,列出了起草单位与起草人,可据此了解粒子沉积速率应用标准的编制力量。

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