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全国标准信息公共服务平台·国标检索「洁净」·原文发布精选

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国家标准《洁净室及相关受控环境 第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级》发布并现行

原文摘要

国家标准《洁净室及相关受控环境 第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级》已发布并处于现行状态,为推荐性国家标准,由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(TC319)归口,主管部门为国家标准委。主要起草单位包括中国工程物理研究院激光聚变研究中心、深圳市吉隆洁净技术有限公司、苏州市计量测试院等,主要起草人为袁晓东、黄吉辉、张秀春等。

为何关注

该标准按化学物浓度划分表面洁净度等级,由 TC319 归口,可供洁净室表面化学污染分级时对照采用。