FFU 出口验收与调试需关注面风速、检漏与密封等要点

FFU 出口是洁净层流形成的关键位置，验收不能只测有无风。佰伦净化总结 9 项管控要点：面风速按 0.45m/s±20% 控制，A 级、百级区域通常维持 0.36～0.54m/s；单点风速偏差不超过 ±20%；必须开展 PAO（DOP）扫描检漏，泄漏率不超过 0.01%。调试顺序应先风量风速平衡、再检漏、最后测洁净度与压差，并预留后期可维护条件。