全国标准信息公共服务平台·国标检索「洁净」·原文发布
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国家标准《半导体用磁悬浮自轴承洁净泵技术规范》发布，2027年2月1日实施
涉及版本 · GB/T 47926-2026
材料所述实施日期 ·
原文摘要
国家标准《半导体用磁悬浮自轴承洁净泵技术规范》（GB/T 47926-2026）于2026年7月30日发布，将于2027年2月1日实施，当前状态为即将实施。该标准由全国磁悬浮动力技术基础与应用标准化工作组（SWG28）归口，主管部门为国家标准委，主要起草单位包括苏州苏磁智能科技有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、华海清科（北京）科技有限公司等。