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理解 ISO 14644 洁净室设施环境监测

涉及版本 · ISO 14644-1:2015 · ISO 14644-2:2015

原文摘要

Qualified Controls 团队阐释 ISO 14644 洁净室设施环境监测要点:ISO 14644-1:2015 的分级测试仅是时点结果,ISO 14644-2:2015 则关注通过持续监测提供洁净室性能证据。

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