台积电向设备供应商发初步技术问卷 评估洁净室电机替换中国大陆稀土永磁体 尚处早期探索阶段
据快科技10月23日报道,台积电已向多家工厂自动化设备供应商发出初步技术问卷,评估在洁净室机械电机中替换中国大陆稀土永磁体的可行性。替代路径包括感应电机、开关磁阻电机和铁氧体驱动,且更换运动组件后通常需12至24个月重新验证颗粒释放、可靠性和真空完整性。三名知情人士称,相关讨论仍处早期探索阶段,台积电尚未发布正式替代指令,也未与设备商签署商业替换合同。
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据快科技10月23日报道,台积电已向多家工厂自动化设备供应商发出初步技术问卷,评估在洁净室机械电机中替换中国大陆稀土永磁体的可行性。替代路径包括感应电机、开关磁阻电机和铁氧体驱动,且更换运动组件后通常需12至24个月重新验证颗粒释放、可靠性和真空完整性。三名知情人士称,相关讨论仍处早期探索阶段,台积电尚未发布正式替代指令,也未与设备商签署商业替换合同。
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圣晖系统集成集团股份有限公司申请一项名为“一种洁净室空调系统”的发明专利,申请公布号为CN122943415A,申请日期为2026年8月25日,公布日期为2026年10月20日,目前处于申请公布阶段。专利摘要称,该系统通过开合组件便于环状滤芯维护更新,清洁转动件实时清扫滤芯、底部连接壳收集杂质以防二次污染,并依托气流驱动多部件运作,无需额外驱动设备以节约能耗。
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2026年10月15日,浙江创芯集成电路有限公司旗下洁净室酸碱污染结构识别数据在浙江省数据知识产权登记平台完成知识产权登记。该数据基于产线长期连续监测数据形成,将洁净室气态分子污染状态划分为酸性异动、结构平稳和碱性异动三类,可用于半导体洁净室污染溯源与气态分子污染异常识别等场景,支持同业厂务团队、过滤器厂商及治理服务商复用。
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拓生科技为被动元件半导体客户的新建无尘室(一个 ISO 6 区与一个 ISO 7 区,面积约 35 m²)执行空态验收检测,涵盖洁净度、风速风量与换气数、HEPA 泄漏、房间压差及温湿度均匀性五大项目。
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Kezuriba 于 2026 年 10 月整理半导体制造设备机械加工零件的完整指南,依据制造商资料、SEMI 标准、专利和 J-STAGE 论文。文中涵盖真空腔体、喷淋头、静电卡盘等零件的尺寸与精度要求(如几何公差 0.01 mm 以下、接气面 Ra 0.13 µm),铝、SUS316L、陶瓷、SiC 等材料的加工要点,清洁度与氦检漏要求,以及所用机床刀具和日本大型企业格局。
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